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Waste-gas scrubber 洗滌塔
Filter Press 壓濾機(jī)
Truck/Tank Unloading卸載
Wastewater Treatment 廢水處理
Solvent Supply 溶劑供給系統(tǒng)
Pure Chemical Supply高純化學(xué)品輸送系統(tǒng)
Waste-gas scrubber 洗滌塔
在芯片生產(chǎn)過程中會產(chǎn)生有毒蒸汽和廢氣，這些必須在潔凈室上方的廢氣處理系統(tǒng)中進(jìn)行中和處理。
廢氣處理采用廢氣洗滌器，清潔廢氣后會產(chǎn)生受污染的水。Almatec? E系列泵非常適合處理這類廢水。
此外，它們還為廢氣洗滌器提供必要的清潔劑，如石灰乳。
Filter Press 壓濾機(jī)
在污水處理流程中，有一個環(huán)節(jié)涉及去除結(jié)合態(tài)污染物和固體，而壓濾機(jī)常用于這一處理環(huán)節(jié)。
鑒于這些應(yīng)用需要更高的壓力，建議使用Almatec? AHD或AHS系列泵，這些泵的輸送壓力可達(dá)15巴（218磅/平方英寸）。這些泵設(shè)計簡單緊湊，且維護(hù)需求極低，有助于確保可靠使用。
Wastewater Treatment 廢水處理
廢水處理中，所有生產(chǎn)過程中使用的化學(xué)品在使用后都會經(jīng)過處理，達(dá)到可以排入當(dāng)?shù)貜U水處理系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)。為此，必須將所有有害物質(zhì)從流體流中分離出來，并對廢水進(jìn)行中和處理。
在使用和處置之前，部分用過的化學(xué)品會先在循環(huán)系統(tǒng)中通過熱交換器進(jìn)行冷卻。因此，對于高達(dá)160°C（320°F）的高溫需求，F(xiàn)UTUR系列泵因其耐熱特性而成為理想之選。
Solvent Supply 溶劑輸送
Almatec?還為特殊應(yīng)用（如溶劑供應(yīng)）提供了合適的解決方案。在處理溶劑時，防爆是首要任務(wù)。這些溶劑主要用于去除晶圓上用于芯片生產(chǎn)的光刻膠。
FUTUR系列的導(dǎo)電泵采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼制成，能有效防止火花產(chǎn)生。在處理某些腐蝕性介質(zhì)時，塑料材質(zhì)的
FUTUR系列泵也可用于爆炸性區(qū)域。 導(dǎo)電E系列泵非常適合作為事故情況下的排放泵使用。
Pure Chemical Supply 高純化學(xué)品供給系統(tǒng)
可靠的化學(xué)品供應(yīng)是所有芯片生產(chǎn)的基礎(chǔ)。Almatec?泵非常適合處理現(xiàn)代芯片生產(chǎn)所需的所有化學(xué)品。
完全無金屬的FUTUR系列泵經(jīng)過特殊設(shè)計，能夠在不產(chǎn)生剪切力且不造成顆粒污染的情況下輸送要求最苛刻的介質(zhì)。常見的機(jī)柜通常會配備冗余的FUTUR泵，以確保可靠的化學(xué)品供應(yīng)。
Almatec E系列泵非常適合在此應(yīng)用中作為排水泵使用。
卡車/儲罐卸料 Truck/Tank Unloading
卡車/儲罐卸料 由于化學(xué)品需求不斷增長，越來越多的化學(xué)品通過油罐車進(jìn)行運(yùn)輸。Almatec? FUTUR系列氣動雙隔膜（AODD）泵提供了一種理想的方式，能夠在滿足與加工工具供應(yīng)相同的純度要求下，安全、快速地將化學(xué)品從卡車輸送到儲罐中。該系統(tǒng)同樣適用于所有其他輸送操作，并確?；瘜W(xué)品的高純度。
對于這些應(yīng)用，特別推薦使用較大規(guī)格的50和100系列Almatec FUTUR泵。
